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API激光干涉儀線性定位誤差測量的詳細(xì)資料:
API激光干涉儀線性定位誤差測量
舊的方法:
激光頭安裝在機(jī)床工作臺(tái)之外,機(jī)床所受的震動(dòng)干擾和激光頭的不同,產(chǎn)生測量誤差。特別是在帶有空氣彈簧減震系統(tǒng)的機(jī)器上
三點(diǎn)對(duì)光,操作復(fù)雜
依靠電腦上的光強(qiáng)條的強(qiáng)弱來對(duì), 余弦差較大
API XD干涉儀的測量方法:
一次安裝也可同時(shí)測量其它五個(gè)參數(shù);
可利用電腦中的直線度實(shí)時(shí)顯示,
數(shù)字化去除余弦差,測量準(zhǔn)確;
兩點(diǎn)調(diào)光,對(duì)光迅速
主要特點(diǎn):
一次安裝能測量6項(xiàng)精度指標(biāo)
包括線性定位誤差、 XX及YY兩個(gè)方向直線度、
偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
兩點(diǎn)調(diào)光線. 無需三腳架. 測量調(diào)整簡單快速
傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項(xiàng)精度指標(biāo)(三軸),約需3天的時(shí)間; API干涉儀只約需半天!
測量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺(tái)時(shí), 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機(jī)床裝配調(diào)試
技術(shù)參數(shù) 5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型: | 5D/6D精密型: 1. 線性:0.2ppm 2. 測量范圍:25米 3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值 4. 大范圍:400角秒 5. 滾動(dòng)角精度:0.5角秒 6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值 7. 大范圍:300um 8. 垂直度精度:0.5角秒 9. 溫度:0.1攝氏度 10.濕度:3% 11.壓力:0.3mmHg |
5D/6D高精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量范圍:根據(jù)用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒
4. 大范圍:500角秒
5. 滾動(dòng)角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um
7. 大范圍:100um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg